HL8510高浓度超高流量臭氧发生器

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HL8510高浓度超高流量臭氧发生器

是华龙半导体研发的紧凑型、高浓度、超高流HL8510量、超清洁型臭氧发生器。它搭载专利放电室与电源结构，在保持占地面积小的前提下，臭氧输出量较早期型号提升一倍。HL8510通过静电放电工艺将氧气转化为臭氧，其创新型专利放电室设计，可适配更高臭氧浓度、流量高达80SLM 的新一代工艺需求。高流量与高浓度的双重优势，能充分满足新一代半导体制程的臭氧使用需求。

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